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Long annealed integrated circuit arrangements and process for the production thereof

机译:长时间退火的集成电路装置及其生产方法

摘要

Be explained, inter alia, a method in which, by means of long heat treatment at a barrier material viaboden be removed or at a viadeckfläche. At the same time, or alternatively, the long heating conductor tracks (106) with a barrier material (110) in a simple and uncomplicated manner.
机译:尤其要解释一种方法,其中,通过在阻挡材料处的通孔或通孔处的长时间热处理,将其去除。同时或可替代地,长的加热导体以简单且不复杂的方式用阻挡材料(110)进行布线(106)。

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