一种用于气体传感器的声表面波谐振器

摘要

本发明涉及一种用于气体传感器的SAW谐振器，包括压电基片（32），置于压电基片（32）表面的第一叉指换能器（34）、第二叉指换能器（35）、分别与第一叉指换能器（34）、第二叉指换能器（35）外侧相邻的第一短路栅反射器（33）和第二短路栅反射器（36）、以及两个叉指换能器之间设置的金属膜（37），所述的第一叉指换能器（34）、第二叉指换能器（35）、第一短路栅反射器（33）、第二短路栅反射器（36）和金属膜（37）均采用厚铝薄金的双层电极结构，铝的厚度为1%～1.3%λ，金的厚度为0.15%～0.25%λ，λ为声波波长。由于采用铝/金双层电极模式，并调整了叉指换能器与反射器间距以及金属膜的宽度，使得这种SAW谐振器具有单一谐振模式，低损耗和高Q值的特点。