一种高纯盐酸的连续生产方法

摘要

本发明涉及一种高纯盐酸的连续生产方法，其以工业级盐酸为原料，按照化学除氯→常压精馏→循环过滤→减压精馏的流程进行，进行减压精馏时，控制减压精馏釜内压力25~95KPa，回流比1:1.8~2.5，所述流程中的各个工序依次且连续地进行。本发明通过简单的四步即可以环保、高效、连续的大批量生产达到SEMIC12半导体级别要求的高纯盐酸，所得盐酸产品中单项金属离子含量可降低至50ppt以下，阴离子含量可降低至50ppb以下，游离氯可降低至300ppb以下。进一步结合本发明提出的在线控制技术和全封闭净化生产方式，可以长期可靠地生产出质量稳定的盐酸产品，满足半导体行业对于产品长期、大批量稳定性的特殊要求。