公开/公告号CN1186802C
专利类型发明授权
公开/公告日2005-01-26
原文格式PDF
申请/专利权人 纽约市哥伦比亚大学托管会;
申请/专利号CN00810687.8
申请日2000-03-21
分类号H01L21/31;H01L21/00;H01L21/26;H01L21/38;
代理机构上海专利商标事务所;
代理人洪玲
地址 美国纽约州
入库时间 2022-08-23 08:57:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-05-25
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/31 授权公告日:20050126 终止日期:20100321 申请日:20000321
专利权的终止
2005-01-26
授权
授权
2002-08-07
公开
公开
机译: 顺序横向凝固结晶硅薄膜的表面平面化方法
机译: 使用顺序横向固化在低温下生产单晶或多晶硅薄膜的系统和方法
机译: 使用顺序横向固化在低温下生产单晶或多晶硅薄膜的系统和方法