法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-27
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/30 授权公告日:20150812 终止日期:20180908 申请日:20100908
专利权的终止
2015-08-12
授权
授权
2015-08-12
授权
授权
2012-10-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/30 申请日:20100908
实质审查的生效
2012-10-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/30 申请日:20100908
实质审查的生效
2012-08-01
公开
公开
2012-08-01
公开
公开
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