公开/公告号CN103540906B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-07-29
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海光学精密机械研究所;
申请/专利号CN201310451684.2
申请日2013-09-29
分类号
代理机构上海新天专利代理有限公司;
代理人张泽纯
地址 201800 上海市嘉定区800-211邮政信箱
入库时间 2022-08-23 09:28:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-07-29
授权
授权
2014-03-12
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/54 申请日:20130929
实质审查的生效
2014-01-29
公开
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