法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-22
专利权的转移 IPC(主分类):B24B 37/10 登记生效日:20170802 变更前: 变更后: 申请日:20120315
专利申请权、专利权的转移
2015-07-15
授权
授权
2015-07-15
授权
授权
2013-02-20
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/04 申请日:20120315
实质审查的生效
2013-02-20
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/04 申请日:20120315
实质审查的生效
2013-01-02
公开
公开
2013-01-02
公开
公开
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机译: 线放电加工装置和线放电加工方法,半导体晶片制造装置和半导体晶片制造方法,以及太阳能电池晶片制造装置和太阳能电池晶片制造方法
机译: 线放电加工装置及线放电加工方法,半导体晶片制造装置及半导体晶片制造方法,太阳能电池晶片制造装置及太阳能电池晶片制造方法
机译: 半导体晶片的工艺液体,半导体晶片的加工方法以及半导体晶片的加工方法