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杯芳烃化合物和包含该杯芳烃化合物的抗蚀剂组合物

摘要

一种分子玻璃化合物,其包括式(I)的芳族化合物与(II)的多环或稠合多环芳香醛的四聚反应产物,C

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-11-03

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C07C 67/29 授权公告日:20150701 终止日期:20160920 申请日:20120920

    专利权的终止

  • 2015-07-01

    授权

    授权

  • 2015-07-01

    授权

    授权

  • 2013-05-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):C07C 67/29 申请日:20120920

    实质审查的生效

  • 2013-05-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):C07C 67/29 申请日:20120920

    实质审查的生效

  • 2013-04-03

    公开

    公开

  • 2013-04-03

    公开

    公开

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