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倒装芯片BGA组装工艺

摘要

一种组装倒装芯片球栅阵列封装件的方法包括:将球形焊料安装至球栅阵列基板;向分割好的晶圆上设置的多个倒装芯片焊料凸块施加助焊剂;将球栅阵列基板对齐在分割好的晶圆上的芯片上方;以及朝向球栅阵列基板向上推动芯片,直到该芯片上的倒装芯片焊料凸块与球栅阵列基板相互接触,从而从分割好的晶圆中将芯片拾取出来并将分割好的晶圆与芯片分开,由此芯片以倒装的方向接合至球栅阵列基板,并且对芯片和球栅阵列基板实施热工艺,从而回流球形焊料并且形成焊球,回流倒装芯片焊料凸块并且在芯片和球栅阵列基板之间形成焊点。本发明还提供了一种倒装芯片BGA组装工艺。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-06-10

    授权

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  • 2013-04-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/60 申请日:20111206

    实质审查的生效

  • 2013-03-20

    公开

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