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公开/公告号CN102983087B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-06-10
原文格式PDF
申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;
申请/专利号CN201110402987.6
发明设计人 刘育志;卢景睿;林韦廷;邱绍玲;潘信瑜;
申请日2011-12-06
分类号
代理机构北京德恒律师事务所;
代理人陆鑫
地址 中国台湾新竹
入库时间 2022-08-23 09:26:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-06-10
授权
2013-04-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/60 申请日:20111206
实质审查的生效
2013-03-20
公开
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