悬臂支撑快速自开合屏蔽罩振动补偿系统及方法

摘要

本发明公开了一种悬臂支撑快速自开合屏蔽罩系统，该系统包括：支撑悬臂、防护壳、屏蔽罩及其齿轮驱动机构、热传输杆、目标执行器、六自由度力/力矩传感器、Stewart平台。本发明还公开了一种使用所述系统对悬臂支撑快速自开合屏蔽罩进行振动补偿的方法。本发明使用六自由度力/力矩传感器解耦机械振动传递关系；基于悬臂精确动力学模型的振动补偿，提高了Stewart平台的补偿效率；利用悬臂末端位置偏移量变化规律对屏蔽罩振动引起的目标执行器位置偏移量进行补偿，提高了其定位速度与精度。