快速自开合屏蔽罩系统建模与结构参数优化

摘要

针对屏蔽罩快速开合过程中其支撑臂易产生扭转弹性形变这一问题，基于分布参数法建立了能够描述屏蔽罩支撑臂扭转弹性形变特性的支撑臂动力学模型，并结合驱动与传动机构的集中参数描述方法，建立了屏蔽罩系统集中-分布参数模型。在此集中-分布参数模型基础上，采用多目标非线性约束优化算法对屏蔽罩系统结构参数进行优化。实验结果表明，屏蔽罩支撑臂扭转共振频率提高了60％，抑制了屏蔽罩系统的机械共振，减小了屏蔽罩基体振动，使目标执行器位置偏移量减小至8μm。