一种基于补偿算法的光栅衍射效率的测量方法

摘要

一种基于补偿算法的光栅衍射效率的测量方法，涉及光谱技术领域，解决现有的光栅衍射效率测量方法存在测量误差并导致测量结果不准确的问题，包括对前置单色仪进行波长标定；准备待测平面光栅和参考平面反射镜；测量参考平面反射镜的反射光通量；输入待测平面光栅的基本参数，如刻线密度、待测波长范围、闪耀波长等，测量待测平面光栅测试波长的衍射光通量；计算由光栅色散引起的出射光谱增宽宽度和光栅旋转造成的光束截面因子，计算存在误差的测量值，根据补偿模型，基于补偿算法计算待测光栅的衍射效率。本测量方法可设置起始波长、终止波长及扫描步长，并具有对测量结果进行自动修正的功能。且测量方法简单，测试过程性能稳定、自动化程度高。