降低随机良率缺陷的方法及系统

摘要

本发明涉及一种降低随机良率缺陷的方法与装置。半导体制程中意外掉落的微粒子容易造成电路布局中局部线路的开路或短路，本发明降低随机良率缺陷的方法是用于更正后绕线布局中的很可能产生开路或短路的线路。将该待更正线路中每一个的开路及短路的临界面积分别乘以权重并累加，且同时进行线路扩展及线路加宽的不同调整而使得该累加值改变，从而得到这些线路的线路扩展及线路加宽的最佳化更正。