衬底卡盘单元、包含所述衬底卡盘单元的衬底处理设备,以及衬底转移方法

摘要

提供一种衬底卡盘单元，其包含：载体，所述载体包含平坦主体和所述主体的侧表面上的粘性卡盘，且将衬底粘附到所述粘性卡盘的侧表面；以及提升杆，所述提升杆在通过吸附力固持所述衬底的同时垂直移动，以将所述衬底放置在所述粘性卡盘的所述侧表面上或从所述粘性卡盘移除所述衬底。将衬底粘附到具有粘性的所述粘性卡盘。因此，作为薄板型衬底的衬底可在平坦状态中粘附。因此，可稳定地制造薄板型显示器面板，且可将衬底有效地固持在真空条件下。