磷锑共掺杂锡酸锌薄膜、其制备方法及有机电致发光器件

摘要

本发明属于发光材料领域，其公开了一种磷锑共掺杂锡酸锌薄膜及其制备方法、有机电致发光器件；该磷锑共掺杂锡酸锌薄膜包含如下化学组分(质量百分比)P₂O₅、0.5～5％，Sb₂O₅、1～10％，余量为ZnO和SnO₂，且ZnO和SnO₂比为52：48。本发明采用磁控溅射设备，制备磷锑共掺杂锡酸锌薄膜(APZTO)，得到薄膜可见光平均透过率大于85％，最低电阻率为8.6×10^-4Ω·cm，表面功函数5.3eV；氧化锌和氧化锡的配比是固定的，组成锡酸锌，然后磷和锑元素的量是可以变化的，改变薄膜性能。