一种基于铂分离层的多层膜反射镜及其制造方法

摘要

本发明涉及一种基于铂分离层的多层膜反射镜及其制造方法，在超光滑的玻璃母板上镀制Pt分离层，再镀制X射线多层膜，然后均匀喷涂液态环氧树脂，在真空环境下将超薄的铝片基底压在上面，环氧树脂高温固化后，铝片基底、固化的环氧树脂、X射线多层膜以及Pt分离层作为整体与玻璃母板自动分离即可。本发明加入了3-10纳米厚的Pt分离层，克服了传统复制工艺中由于分离困难而只能制备Au或Pt单层金属膜镜以及Pt/C周期膜镜的不足，使常用的X射线多层膜材料都可用于超薄超光滑反射镜的复制，厚度3-10纳米的Pt分离层对硬X射线的吸收很小，因此Pt分离层的加入几乎不影响反射镜的光学性能。