采用高漫反射方腔增加光程的可调谐二极管激光痕量气体检测装置及方法

摘要

采用高漫反射方腔增加光程的可调谐二极管激光痕量气体检测装置及方法，属于痕量气体浓度检测技术领域。本发明解决在有限空间内增加气体吸收光程的方法中存在的结构复杂且价格昂贵的问题。装置包括二极管激光器和高漫反射方腔，它还包括光电倍增管、锯齿波信号发生器、正弦波信号发生器、混频器、温度控制器、电流控制器、数据采集卡、计算机、高压电源、入射楔形石英透镜和出射楔形石英透镜；方法为在计算机中将光电倍增管输出的电信号解调为二次谐波信号，得到待测气体浓度的光学参量OP，再将该光学参量OP与待测气体光学参量随高漫反射方腔内气体浓度变化的标准曲线对比，获得待测气体浓度，实现待测气体含量检测。本发明用于痕量气体检测。