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一种多晶硅选择性发射极太阳能电池的扩散方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅选择性发射极太阳能电池的扩散方法,包括如下步骤:(1) 将生长掺杂剂的硅片放于扩散炉中,升温至750~800℃,炉内环境为N

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法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-12-01

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 31/18 变更前: 变更后: 变更前: 变更后: 申请日:20120314

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2015-04-01

    授权

    授权

  • 2015-04-01

    授权

    授权

  • 2012-09-19

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20120314

    实质审查的生效

  • 2012-09-19

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20120314

    实质审查的生效

  • 2012-07-18

    公开

    公开

  • 2012-07-18

    公开

    公开

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