一种基于超疏水表面的电润湿微流体装置

摘要

本发明公开了一种基于超疏水表面的电润湿微流体装置，主要包括了一个微流体操控下基板和一个上基板，所述下基板表面具有微纳米双重结构；微米结构为条状结构，其表面均匀覆盖一层导电层，该导电层表面覆盖一层疏水介质层；纳米结构位于微米结构底部间隙，其表面也覆盖一层疏水介质层；所述下基板具有超疏水特性；所述上基板内表面覆盖一组并排的电极阵列，该组电极排列方向与下基板条状结构相互垂直，且相邻电极之间间隔很小，电极表面覆盖一层疏水介质层。本发明提供的电润湿微流体装置的下基板表面提供了较好的流体减迟滞特性，同时具备了电润湿功能，可结合超疏水表面和电润湿技术的双重优势，实现具有强驱动能力、弱迟滞特性的微流体装置。