具有定位结构体的光波导基板及其制造方法、以及光电混合基板的制造方法

摘要

本发明提供一种在光波导基板以及光电混合基板中能够削减部件和简化工序并且以高位置精确度和高成品率进行制作的、设置在光波导和光连接部的定位结构体、以及使用了它的基板的制造方法。在光波导基板中，与将反射镜部件图案形成在包覆层(11)上的任意位置上同时地，在反射镜图案(13)外周部的任意位置上分别形成具有凸形形状的定位用图案(14)，在将反射镜图案(13)加工成前端渐细状并进行了定位的状态下，在反射镜图案的倾斜部(22)和定位用图案(14)表面形成金属膜。并且，在将定位用图案(14)与光掩模(16)进行了定位的状态下，在与反射镜图案(13)相邻接的包覆层(11)上形成布线芯图案(20)。