用于抗蚀剂下层的含芳环的聚合物和包含该聚合物的抗蚀剂下层组合物

摘要

本发明提供了用于抗蚀剂下层的含芳环的聚合物和包含该聚合物的抗蚀剂下层组合物。该含芳环的聚合物包括如以化学式1表示的单元结构。