法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-02-25
授权
授权
2013-06-05
实质审查的生效 IPC(主分类):D01F 11/08 申请日:20130125
实质审查的生效
2013-05-01
公开
公开
机译: 具有出色稳定性的聚硅氮烷处理溶剂,可化学去除残留的聚硅氮烷涂层,以及使用该方法处理聚硅氮烷的方法
机译: 聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液,聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液的处理方法以及半导体装置的制造方法
机译: 聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液的处理方法,聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液,半导体装置的制造方法