硅片切割废砂浆中碳化硅和聚乙二醇切割液的回收方法

摘要

本发明提供碳化硅和聚乙二醇切割液的回收方法，将硅片切割废砂浆与水混合后进行第一级固液分离，将第一级固体颗粒经水稀释后进行第二级固液分离，将第二级悬浮液回用于上述混合，将第二级固体颗粒经第一级水洗后进行第三级离心分离，将第三级离心液回用于上述稀释，将第三级离心固体颗粒经第二级水洗后进行第四级离心分离，将第四级离心液回用于第一级水洗，将第四级离心固体颗粒经干燥、筛选后得到碳化硅；将第一级悬浮液进行过滤、脱色和树脂交换后，依次进行减压蒸馏和薄膜蒸发，得到聚乙二醇切割液、减压蒸馏水和薄膜蒸发水，所述减压蒸馏水用于第二级水洗，所述薄膜蒸发水用于第一级水洗。该回收方法显著降低污水的污染程度，利于环保。