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可实时观察监测z扫描光学非线性测量装置和方法

摘要

一种可实时观察监测z扫描光学非线性测量装置和方法,主要包括光源调制监测部分,数据采集部分以及照明观察部分。装置中采用两个光源,既可以方便切换光源,采用信号发生器控制岀射激光的脉冲宽度,脉冲周期,功率可调;可以测量样品的透射开孔和透射闭孔数据,还可测量样品反射开孔数据;本发明不仅适用于透明材料的非线性吸收系数和非线性折射率,而且适用于半透明,不透明材料的非线性测量。装置中对于样品运动平台加入了显微物镜,照明光源以及CCD相机,可以实时观察样品表面形貌,避免由于样品形貌变化对测量数据的影响;同时加入示波器实时监测作用激光波形功率,提高材料非线性测量的精度和准确性。

著录项

  • 公开/公告号CN103033488B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-02-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201210540625.8

  • 发明设计人 王睿;魏劲松;

    申请日2012-12-13

  • 分类号G01N21/41(20060101);G01N21/17(20060101);

  • 代理机构31213 上海新天专利代理有限公司;

  • 代理人张泽纯

  • 地址 201800 上海市嘉定区800-211邮政信箱

  • 入库时间 2022-08-23 09:23:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-02-18

    授权

    授权

  • 2013-05-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/41 申请日:20121213

    实质审查的生效

  • 2013-04-10

    公开

    公开

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