法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-07
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C30B 13/00 授权公告日:20150304 终止日期:20151018 申请日:20121018
专利权的终止
2015-03-04
授权
授权
2013-03-20
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 13/00 申请日:20121018
实质审查的生效
2013-02-06
公开
公开
机译: 单晶体生长方法和单晶体生长装置
机译: 单晶体方法和单晶体原始材料,能够生长半绝缘单晶体
机译: 制备氧化锌单晶体基板,由该过程生长的单晶体基板的制造方法,以及由该基板和由其制成的薄膜的半导体发光装置