法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-14
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J23/06 授权公告日:20150225 终止日期:20190830 申请日:20120830
专利权的终止
2015-02-25
授权
授权
2015-02-25
授权
授权
2013-01-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J23/06 申请日:20120830
实质审查的生效
2013-01-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 23/06 申请日:20120830
实质审查的生效
2012-11-28
公开
公开
2012-11-28
公开
公开
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机译: 磁控阴极和包括该磁控阴极的磁控溅射设备
机译: 磁控阴极和包括该磁控阴极的磁控溅射设备
机译: 磁控阴极溅射的磁控阴极