公开/公告号CN109559957A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-02
原文格式PDF
申请/专利权人 南京誉凯电子科技有限公司;
申请/专利号CN201710885210.7
发明设计人 刘梅;
申请日2017-09-26
分类号
代理机构
代理人
地址 210000 江苏省南京市雨花台区板桥街道振兴路59号
入库时间 2024-02-19 08:16:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-02
公开
公开
机译: 磁控阴极和包括该磁控阴极的磁控溅射设备
机译: 磁控阴极和包括该磁控阴极的磁控溅射设备
机译: 磁控阴极溅射的磁控阴极