公开/公告号CN1152757C
专利类型发明授权
公开/公告日2004-06-09
原文格式PDF
申请/专利权人 穆勒魏恩加藤股份公司;
申请/专利号CN99110445.5
申请日1999-07-14
分类号B21D43/05;B30B15/14;
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人张兆东
地址 联邦德国魏恩加藤
入库时间 2022-08-23 08:56:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-09-04
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B21D 43/05 授权公告日:20040609 终止日期:20120714 申请日:19990714
专利权的终止
2004-06-09
授权
授权
2001-07-18
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
2000-05-10
公开
公开
机译: 驱动控制方法,驱动控制设备,阶段控制方法,阶段控制设备,曝光方法,曝光设备和测量设备
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