公开/公告号CN102193193B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-01-14
原文格式PDF
申请/专利号CN201010121936.1
申请日2010-03-11
分类号G02B27/00(20060101);F21V5/04(20060101);
代理机构31001 上海申汇专利代理有限公司;
代理人林炜
地址 201100 上海市闵行区疏影路1280号
入库时间 2022-08-23 09:23:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-01-14
授权
授权
2012-12-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 27/00 申请日:20100311
实质审查的生效
2011-09-21
公开
公开
机译: 具有具有非均匀参数的透镜的照相机的优化装置的设计方法,该透镜被成像为具有均匀参数的透镜
机译: 具有具有非均匀参数的透镜的照相机的优化装置的设计方法,该透镜被成像为具有均匀参数的透镜
机译: 光学装置,即投影照明系统,一种用于微光刻的操作方法,涉及到用光照射透镜,从而在透镜中产生不均匀的温度分布以校正系统的缺陷。