公开/公告号CN102292792B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-01-21
原文格式PDF
申请/专利权人 艾克塞利斯科技公司;
申请/专利号CN201080005105.6
发明设计人 伯·范德伯格;威廉·迪韦尔吉利奥;
申请日2010-01-22
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人吴敬莲
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 09:23:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-01-21
授权
授权
2012-02-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/317 申请日:20100122
实质审查的生效
2011-12-21
公开
公开
机译: 离子注入中增强的低能离子束传输
机译: 增强低能离子束在离子注入中的传输
机译: 离子注入中增强的低能离子束传输