ion implantation; semiconductor doping; beam handling techniques; energy contamination control; ion beam deceleration; low energy ion implantation; shallow junction formation; space charge limits; low energy ion beam transport; energetic neutral particle;
机译:使用束减速技术通过极低能量(100eV)电子束从AlGaN / GaN HEMT结构发光
机译:通过低能离子注入和电子束退火在Si上控制生长大型SiC纳米晶体的核反应分析和光学显微镜研究
机译:低能植入中的能量污染
机译:低能量离子注入离子束减速期间的能量污染控制
机译:从电子回旋共振离子源提取离子束,以及随后的低能束流传输。
机译:低能N +束注入种子萌发的促生水稻幼苗中的基因表达特征。
机译:改良减速模式改进低能离子注入过程的稳定性