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共光路径向剪切液晶移相干涉波前传感器

摘要

本发明公开了一种共光路径向剪切液晶移相干涉波前传感器,由起偏器、径向剪切系统,液晶相位调制器(LC)、检偏器、成像系统和计算机组成。待测光束进入波前传感器后,旋转起偏器调整入射光束的偏振方向;然后经过径向剪切系统,形成两束同光轴、偏振方向正交、光束口径按相同比例缩放的剪切光束;而后两剪切光束垂直入射到LC上,保持LC的偏振方向与扩大光束偏振方向一致;计算机驱动LC在剪切光束之间引入N(N≥3)个不同相移,然后经检偏器后得到两剪切光束中与检偏器偏振方向一致的偏振分量并产生干涉;干涉图由成像系统采集并分时依次输入计算机,经分析计算重构待测光束波前相位。本传感器优点是光学系统结构简单、能够抑制环境振动与非共路误差的影响、干涉条纹对比度连续可调、波前探测精度高。

著录项

  • 公开/公告号CN102680117B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-01-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 内蒙古工业大学;

    申请/专利号CN201210176291.0

  • 申请日2012-06-01

  • 分类号

  • 代理机构呼和浩特北方科力专利代理有限公司;

  • 代理人王社

  • 地址 010051 内蒙古自治区呼和浩特市新城区爱民街49号

  • 入库时间 2022-08-23 09:22:59

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-07-20

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01J 9/02 授权公告日:20150114 终止日期:20150601 申请日:20120601

    专利权的终止

  • 2015-01-14

    授权

    授权

  • 2013-02-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 9/02 申请日:20120601

    实质审查的生效

  • 2012-09-19

    公开

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