基于四步空间移相的共光路径向剪切干涉仪

摘要

一种基于四步空间移相的共光路径向剪切干涉仪，包括：缩束系统、起偏器、环路径向剪切系统CRS，四步空间移相系统SPS、光束编排系统、CCD和计算机组成，畸变光束进入波前传感器，利用缩束系统变换光束口径，起偏器对光束偏振方向进行调制；再进入环路径向剪切系统CRS，形成同光轴、偏振方向互相垂直且光束口径按相同比例缩放的两束光；该两光束进入四步空间移相系统后被分成四对同轴光束，每对同轴光束偏振方向相同且它们之间相位差分别为0、π/2、π、3π/2；四对同轴光束经光束编排后同时进入CCD的光敏面，形成四幅径向剪切干涉图，计算机根据四幅干涉图数据经过两次矩阵运算后即可复原出待测光束畸变波前。本发明扩大了采用干涉法波前传感器的应用领域，优越性明显。