散斑相关和散斑干涉相结合的三维变形测量系统及方法

摘要

本发明涉及一种散斑相关和散斑干涉相结合的三维变形测量系统及方法，它包括激光器，激光器发出的激光扩束后经过半透半反镜，分别照明被测物体和参考物面，被测物面和参考物面同时经过半透半反镜由成像透镜成像在CCD摄像机的靶面上，半透半反镜相对于入射光线成45°角倾斜放置，有参考光路时，在CCD摄像机的靶面上物面散斑和参考面散斑相互干涉，形成干涉散斑图像，测量离面位移分量。去掉参考物光路，采集物面上的散斑图像，利用变形前后的两幅散斑图，计算出面内位移的二个分量。它利用典型的对离面位移敏感的数字散斑光路，实现散斑相关测量物体的面内位移和散斑干涉离面位移，实现三维位移测量，具有光路简单、操作和数据处理简单快捷的优点。