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基于非对称相移光栅的窄线宽DFB半导体激光器

摘要

一种基于非对称相移光栅的窄线宽DFB半导体激光器,包括:一缓冲层;一下波导层,该下波导层制作在缓冲层上;一多量子阱有源层,该多量子阱有源层制作在下包层上;一光栅层,该光栅层制作在多量子阱有源层上;一上波导层,该上波导层制作在光栅层上;一包层,该包层制作在上波导层上;一接触层,该接触层制作在包层上;一P电极,该P电极制作在接触层上;一N电极,该N电极制作在缓冲层的背面。本发明可以克服外部反射光对激光器内部的影响,压窄激光线宽,增加激光器的频率稳定性和增大输出功率的效果。

著录项

  • 公开/公告号CN103078250B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-12-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;

    申请/专利号CN201310019361.6

  • 申请日2013-01-18

  • 分类号H01S5/12(20060101);H01S5/34(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人汤保平

  • 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

  • 入库时间 2022-08-23 09:22:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-12-31

    授权

    授权

  • 2013-06-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 5/12 申请日:20130118

    实质审查的生效

  • 2013-05-01

    公开

    公开

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