一种多边形截面硅梁的湿法腐蚀制备工艺

摘要

本发明公开了一种多边形截面硅梁的湿法腐蚀制备工艺，包括以下步骤：首先制备硅梁斜面；然后在形成硅梁斜面的硅片的正面生成晶棱保护层以保护硅梁斜面，尤其是保护晶棱；最后硅梁成型；作为一个总的发明构思，本发明还公开了一种多边形截面硅梁的湿法腐蚀制备工艺，包括以下步骤：首先制备硅梁斜面；然后在形成硅梁斜面的硅片的正面和反面均生成晶棱保护层以保护硅梁斜面，尤其是保护晶棱；最后硅梁成型；本发明的多边形截面硅梁湿法腐蚀制备工艺，通过在硅片表面生成晶棱侧蚀保护层，能有效抑制湿法腐蚀过程中晶棱削角，使硅梁的晶棱完整保留，提高了硅梁的力学性能；同时制备工艺操作简单，成本低廉。