将高阻值P型薄膜活化成低阻值P型薄膜的制造方法

摘要

一种将高阻值P型薄膜活化成低阻值P型薄膜的制造方法，利用温度梯度变化所产生的能量，将高阻值P型掺杂的薄膜活化成低阻值P型掺杂的薄膜。高阻值P型薄膜为P型掺杂的III族金属氮化物薄膜、或是P型掺杂的II-VI族化合物薄膜。本发明在温度梯度变化过程中，进行持温操作的时间小于1分钟。利用快速升降温的方式达成P型掺杂活化，将热处理的时间缩短，进而减少长时间热处理所衍生的扩散问题。