将高阻值P型掺杂薄膜活化成低阻值P型掺杂薄膜的制造方法

摘要

一种将高阻值P型掺杂薄膜活化成低阻值P型掺杂薄膜的制造方法,利用温度梯度变化所产生的能量,将高阻值P型掺杂的薄膜活化成低阻值P型掺杂的薄膜。高阻值P型掺杂薄膜为P型掺杂III族金属氮化物薄膜、或是P型掺杂的II－VI族化合物薄膜。利用快速升降温的方式,达到将P型掺杂活化的目的,因此可将热处理的时间缩短,进而减少长时间热处理所衍生的扩散问题。