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使用能量化离子以图案化磁性薄膜的方法

摘要

本发明提供一种用于在基板上图案化磁性薄膜的方法,所述方法包括:在所述磁性薄膜周围提供图案,其中所述图案的选择性区域允许一或多种元素的能量化离子的穿透。能量化离子经产生而具有足够能量以穿透选择性区域及与这些选择性区域相邻的所述磁性薄膜的部分。置放所述基板以接收这些能量化离子。可使所述磁性薄膜的所述部分经受热激发。使所述磁性薄膜的这些部分呈现出与选择性其它部分不同的磁性性质。本发明亦揭示用于图案化磁性媒体的方法,所述媒体的两侧上具有磁性薄膜。

著录项

  • 公开/公告号CN102197426B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-11-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 应用材料公司;

    申请/专利号CN200980142620.6

  • 申请日2009-10-15

  • 分类号G11B5/84(20060101);G11B5/74(20060101);

  • 代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人陆勍

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2022-08-23 09:21:55

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-11-05

    授权

    授权

  • 2012-01-04

    著录事项变更 IPC(主分类):G11B 5/84 变更前: 变更后: 申请日:20091015

    著录事项变更

  • 2011-12-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):G11B 5/84 申请日:20091015

    实质审查的生效

  • 2011-09-21

    公开

    公开

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