电子源与图象形成装置的制造方法,以及电子源制造装置

摘要

本发明提供了一种电子源与图象形成装置的制造方法，以及电子源制造装置，所述电子源具有电子发射单元。其中，所述电子源的制造方法包括以下步骤：在至少包括电子发射单元发射电子的区域的区域中淀积碳或碳化合物或它们的组合，其中，所述淀积步骤是在包含碳或碳化合物或它们的组合的至少一种源材料的气体气氛中进行的，该气体气氛具有从100Pa到2个大气压范围内的压力。所述图象形成装置的制造方法包括将图象形成单元和所述电子源组装成一体。