高反射的微机电系统(MEMS)装置、便携式装置以及方法

摘要

一种基于干涉的微机电系统(MEMS)装置，具有：下基板，包括基板电极；下柔性隔膜，其与下基板隔开下间隙，下柔性隔膜包括下隔膜电极；上柔性隔膜，位于下柔性隔膜的与所述下基板相对的一侧上且与所述下柔性隔膜隔开上间隙，上柔性隔膜包括上隔膜电极；和控制电路，被配置成提供控制电压至所述下基板、下柔性隔膜和上柔性隔膜的电极，以改变所述下间隙和上间隙的尺寸，从而控制所述装置对入射到所述下基板上的光线的反射特性。控制电路被配置成提供第一操作模式和第二操作模式，在第一操作模式中下间隙的尺寸被减小至零使得所述下柔性隔膜保持与所述下基板接触；在第二操作模式中上间隙的尺寸被减小至零使得上柔性隔膜保持与下柔性隔膜接触。