一种基于微反射镜阵列的MEMS微振镜监测装置及方法

摘要

本发明提供一种基于微反射镜阵列的MEMS微振镜监测装置及方法，装置包括：光源用于发射光信号；MEMS微振镜用于将光信号向被测空间的被测物投射，被测物反射的第一光信号反馈至光束传感器；MEMS微振镜上设置具有不同空间法向角的反射面的微反射镜阵列，用于将光信号反射的第二光信号反馈至光束传感器；光束传感器用于接收第一光信号和第二光信号；处理器用于提取光束传感器接收的第一光信号计算第一深度信息；提取光束传感器接收的第二光信号计算第二深度信息并根据所述第二深度信息对第一深度信息进行标定；根据第二光信号出现的时序和规律，监测所述MEMS微振镜的位置和工作状态。提高了MEMS微振镜的安全性及信号的完整性。