涂覆用于机械系统的具有高摩擦性能的微机械部件的方法

摘要

一种涂覆微机械系统，特别是钟表机芯，的微机械元件的方法，其包括：提供待涂覆的基材（4）元件；给所述元件提供金刚石涂层（1）；其中金刚石涂层通过在反应室中用CVD（化学气相淀积）提供；并且，在化学气相淀积中，在生长过程的最后部分期间，在反应室内提供碳含量的受控改变，由此在表面附近提供sp2/sp3碳键（2）的变化。也提供了相应的微机械元件。