法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-05
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/00 授权公告日:20141022 终止日期:20180419 申请日:20120419
专利权的终止
2014-10-22
授权
授权
2014-10-22
授权
授权
2012-11-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/00 申请日:20120419
实质审查的生效
2012-11-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20120419
实质审查的生效
2012-09-12
公开
公开
2012-09-12
公开
公开
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