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一种用于低功耗高可靠性相变存储器的掺氧纳米薄膜材料及其制备和应用

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摘要

本发明涉及一种用于低功耗高可靠性的掺氧Sb

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-08-17

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 45/00 授权公告日:20140917 终止日期:20170823 申请日:20120823

专利权的终止
2014-09-17

授权

授权
2014-09-17

授权

授权
2013-01-23

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L45/00 申请日:20120823

实质审查的生效
2013-01-23

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 45/00 申请日:20120823

实质审查的生效
2012-11-28

公开

公开
2012-11-28

公开

公开

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