多平台系统、用于多平台系统的控制方法以及光刻设备

摘要

本发明公开了一种多平台系统、用于多平台系统的控制方法以及光刻设备。多平台系统包括：定子，基本上平行于第一方向延伸；第一和第二平台，相对于定子是可移动的，这些平台设置有磁体系统用以产生磁场；和定子，设置有绕组用以与磁场相互作用以相对于定子定位平台，所述方法包括步骤：确定平台的位置；选择能够分别具有与第一和第二平台的磁场的不可忽略的相互作用的电绕组的第一和第二子组；激励两个子组的绕组，其中激励绕组包括：确定同时为两个子组的一部分的绕组；和排除同时为两个子组的一部分的绕组使其不受激励。