在熔丝结构中形成引线通孔的方法和金属熔丝结构

摘要

公开了金属熔丝结构以及形成该结构的方法。该方法包括从金属化层形成熔丝结构。在从金属化层形成的熔丝结构上面沉积HDP氧化物的底部氧化层。在底部氧化层上面沉积掺杂氧化层。在掺杂氧化层上面沉积顶部氧化层。通过顶部氧化层蚀刻。在开始蚀刻掺杂氧化层时，检测出放出的掺杂物质增加的含量。该方法进一步包括在检测出掺杂物质增加的含量时终止蚀刻。其中在从金属化层形成的熔丝结构上面至少保留底部氧化层。