以微系统技术制成的对积垢进行测量和/或探测的微传感器

摘要

本发明涉及对直接地或间接地在传感器的一所谓前表面上形成的积垢进行测量和/或探测的传感器(10；34)，其特征在于，所述传感器以多个叠置层的形式包括：至少一加热元件(14)，所述至少一加热元件能够按照指令扩散一受控均匀热流，所述受控均匀热流的热功率小于200mW；一隔热层(11)，所述隔热层布置在与传感器的前表面相对的边侧，以避免热流从所述相对的边侧散逸；至少一温度测量元件(16)，所述至少一温度测量元件设置在通过所述至少一加热元件扩散的受控均匀热流中并且提供优于0.1℃的温度测量精度；一基体(12；42)，所述至少一加热元件的层和至少一温度测量元件的层附加在所述基体上。