一种无接触式粗精动叠层定位系统及其运动控制方法

摘要

一种无接触式粗精动叠层定位系统及其运动控制方法，该定位装置包括一个微动台和对称布置在微动台两侧的两个粗动台，微动台利用音圈电机悬浮在两个粗动台上方，各粗动台之间、各粗动台与微动台之间无机械连接。微动台能够实现六自由度运动，两个粗动台沿Y轴方向运动。沿Y轴方向运动的控制方法中，以激光尺信号为微动台沿Y轴方向位置反馈，利用音圈电机驱动实现微动台沿Y轴方向运动。以电涡流传感器信号为粗动台与微动台之间沿Y轴方向位置偏差，以该偏差为控制器反馈实现粗动台与微动台沿Y轴方向的同步运动。