公开/公告号CN102468182B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-06-18
原文格式PDF
申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;
申请/专利号CN201110358405.9
申请日2011-11-11
分类号H01L21/336(20060101);G06F17/50(20060101);G03F1/00(20120101);
代理机构11306 北京德恒律师事务所;
代理人陆鑫;房岭梅
地址 中国台湾新竹
入库时间 2022-08-23 09:19:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-06-18
授权
授权
2012-07-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:20111111
实质审查的生效
2012-05-23
公开
公开
机译: 增加未对准鳍的鳍装置密度的方法和装置
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